光学反应薄膜膜施胶、地球能晶圆、超轻薄磨砂玻璃、胶带纸、Mylar膜、OCA光学反应薄膜胶、光阻等在线测量。

用在涂胶步骤时，该装备可摆放在于涂胶池后、烤箱前，同屏迅雷在线在校正涂胶的尺寸; 也可不可以同屏迅雷在线在校正离型膜施胶的尺寸。其表面粗糙度不高，用甚广，更是适尺寸特殊要求符合nm级的黑色多层高层刚体的尺寸在校正。

产品的性能指标/技术指标

在测量位置: 0.1pm~100μm

校正误差: 0.4%

精确测量再次性: ±0.4nm (3σ )

光波波长规模: 380nm~1100nm

出现异常时光: 5~500ms

自动测量光点: 1mm~30mm

技术性扫描器检测连续性:10nm