应该用环境

• 光电器件元件膜刷抹、日能晶圆、薄款玻璃纸、封箱胶纸、Mylar膜、OCA光电器件元件胶、光阻等自动测量。

• 技术操作在涂胶道工序时，该机器设备可放到于涂胶池后、干燥箱前，再线上校正涂胶的厚薄; 也都可以再线上校正离型膜涂抹的厚薄。其高精准度不高，技术操作甚广，通常最适合厚薄追求高达奈米级的明亮几层正方体的厚薄校正。

厂品性能方面/参数表

精确测量依据: 0.1pm~100μm

预估导致精度: 0.4%

在测量再次性: ±0.4nm (3σ )

光波长比率: 380nm~1100nm

出现异常事件: 5~500ms

衡量黑斑: 1mm~30mm

动态化扫描机精确测量相似性:10nm