“光学干涉测厚仪”
入射光束在遇到被测物的各个界面时发生反射和投射,不同界面的反射光由于相位的不同而发生干涉,通过测量干涉条纹的特征,间接测量被测物的厚度。
特点:
在线实时扫描测量薄膜的厚度,实时反映生产过程中薄膜的厚度趋势,帮助反馈调节生产设备,实现更稳定一致的生产;
可输出横向纵、向趋势图、最大值、最小值、极差、CPK等统计参数;
高精密厚度测量,重复精度达0.4nm;
可同时检测多层材料厚度;
适用于光滑表面透明膜厚度测量;
典型应用于:光学膜涂布、太阳能晶圆、超薄玻璃、胶带、Mylar 膜、OCA光学胶、光阻等测量。
设备参数:
适合材质:透明光滑表面薄膜,非磨砂表面薄膜;
测量范围:100nm ~100um
测量精度:0.4%
测量重复性:±0.4nm
波长范围:380nm ~ 1100 nm
响应时间:1 ~ 10ms
测量光斑:3 ~12nm
动态扫描测量重复性:±1nm
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